Tiêu chuẩn phòng sạch(cleanroom)

Tiêu chuẩn phòng sạch(cleanroom)

Tiêu chuẩn phòng sạch(cleanroom)

Số lượt xem: 273

Tiêu chuẩn có ảnh hưởng lớn nhất hiện nay là tiêu chuẩn của Mỹ (FS209). Sau đây, xin trình bày chi tiết về hệ thống tiêu chuẩn này. Tiêu chuẩn FS 209: tiêu chuẩn này hiện nay có các phiên bản FS 209A, FS 209B, FS 209C, FS 209D và FS 209E (mới nhất). Các phiên bản từ A~D chỉ dùng hệ đơn vị của Anh, còn phiên bản E dùng kết hợp cả hệ Anh và hệ ISO. Dưới đây là bản chi tiết tiêu chuẩn FS 209E:

Bảng 9.1. Tiêu chuẩn FS 209E

Số lượng nhiều nhất các hạt trong không khí (số hạt trên đơn vị thể tích)

Bảng 9.1. Tiêu chuẩn FS 209E 

 

Số lượng nhiều nhất các hạt trong không khí (số hạt trên đơn vị thể tích) 

 

 

 

Lớp

 

Kích cỡ hạt

 

 

0.1 µm

 

0.2 µm

 

0.3 µm

 

0.5 µm

 

5 µm

 

SI

English

m3

ft3

m3

ft3

m3

ft3

m3

ft3

m3

 

ft3

 

M 1

 

350

9.91

75.7

2.14

30.9

0.875

10

0.283

 

 

 

M 1.5

1

1,240

35

265

7.5

106

3

35.3

1

 

 

 

M 2

 

3,500

99.1

757

21.4

309

8.75

100

2.83

 

 

 

M 2.5

10

12,400

350

2,650

75

1,060

30

353

10

 

 

 

M 3

 

35,000

991

7,570

214

3,090

87.5

1,000

28.3

 

 

 

M 3.5

100

 

 

26,500

750

10,600

300

3,530

100

 

 

 

M 4

 

 

 

75,700

2,140

30,900

875

10,000

283

 

 

 

M 4.5

1,000

 

 

 

 

 

 

35,300

1,000

247

 

7

 

M 5

 

 

 

 

 

 

 

100,000

2,830

618

 

17.5

 

M 5.5

10,000

 

 

 

 

 

 

353,000

10,000

2,470

 

70

 

M 6

 

 

 

 

 

 

 

1,000,000

28,300

6,180

 

175

 

M 6.5

100,000

 

 

 

 

 

 

3,350,000

100,000

24,700

 

700

 

M 7

 

 

 

 

 

 

 

10,000,000

283,000

61,800

 

1,750

 

filter, clean room , cleanroom, passbox, lọc khí, loc khi,heating, ventilation, Hvac,electric,electricity,

Xem xét bảng trên ta thấy rằng, đối với hệ Anh, tiêu chuẩn này chia phòng sạch theo 6 cấp: 1, 10, 100, 1000, 10000 và 100000. Lấy ví dụ theo cấp 10000 tiêu chuẩn qui định: số lượng hạt có kích cỡ ≥0,5µm trong một ft3 phải ≤ 10000 hạt và số hạt có kích cỡ ≥ 5 µm phải ≤ 70 hạt. Tương tự như vậy đối với các cấp khác.

Đối với hệ SI, tiêu chuẩn này chia thành 13 cấp, gồm: M1, M1.5, M2, M2.5, M3, M3.5, M4, M4.5, M5, M5.5, M6, M6.5 và M7. Trong đó cấp M1 là sạch nhất và các cấp càng lớn thì độ sạch càng giảm dần.

 

Khách hàng có nhu cầu xin vui lòng liên hệ với phòng kinh doanh để có báo giá.Rất hân hạnh được phục vụ quý khách!TST Engineering Co.,Ltd

filter, clean room , cleanroom, passbox, lọc khí, loc khi,heating, ventilation, Hvac,electric,electricity



Công ty TNHH Kỹ thuật TST



Tầng 2, Số 5, ngõ 26/28 TháiThịnh 2, ĐốngĐa, Hànội.



Điện thoại: (+84) – 04 – 3538 0536 ; Fax: (+84) – 04 – 3538 0537



Di động: 098.850.1044 (Ms.Thủy)



Website: www.codientst.com



Email: thuthuy.tste05@gmail.com

 

Tin tứcQuy địnhBảng giá QC
Góp ý
Loading