Vai trò của khí công nghiệp trong sản xuất chất bán dẫn

Một số loại khí công nghiệp cốt lõi được sử dụng trong sản xuất chất bán dẫn bao gồm: Nitơ, Heli, Oxy, Hydro và Argon.

• Khí Nitơ được sử dụng như loại khí làm sạch loại bỏ oxy, hơi nước trong suốt quá trình sản xuất chất bán dẫn. Khí Nitơ có độ tinh khiết cao được đưa qua tất cả các kênh và mạng lưới đường ống để loại bỏ chất gây ô nhiễm ra khỏi công cụ và tấm bán dẫn.
• Khí Helium giữ vai trò là khí bảo vệ. Helium có tính dẫn nhiệt cao, dẫn nhiệt hiệu quả và điều chỉnh nhiệt độ của tấm silicon trong quá trình sản xuất.
• Khí Hydro có độ tinh khiết cao được sử dụng để lắng đọng Epiticular của vật liệu bán dẫn như Silicon và Silicon germaium và ủ các bề mặt oxy hoá trên tấm Silicon. Hydro cũng có thể được dùng làm tác nhân làm sạch: Plasma hydro loại bỏ các tạp chất từ nguồn sáng trong quá trình quang hoá UV.
• Khí Argon trơ và dễ bị ion hoá nên được lựa chọn làm plasma sơ cấp. Plasma Argon được sử dụng trong phản ứng lắng đọng và ăn mòn. Khí Argon được sử dụng trong in laser thạch bản UV sâu và tác nhận làm sạch những con chip nhỏ nhất và dễ vỡ nhất.

Ngoài ra, trong quy trình sản xuất chất bán dẫn và các vi mạch còn sử dụng rất nhiều các loại khí đặc biệt như: Diborane (B2H6), Phosphine (PH3), Silane (SiH4), Neon (Ne), Krypton (Kr), Xenon (Xe)… Đây là các loại khí đóng vai trò quan trọng và được sử dụng trong hầu hết các công đoạn sản xuất từ tinh chế cát (SiO2) thành Silic nguyên chất cho đến các bước tạo ra các tấm xốp (Wafer) và xử lý Wafer, công đoạn lắp ráp và đóng gói bao bì thành phẩm.

Quá trình sản xuất các mạch tích hợp rất phức tạp và yêu cầu hơn 30 loại khí khác nhau trong tất cả các giai đoạn. Do tính phức tạp của nó, các loại khí được sử dụng cần phải tinh khiết và chính xác ở mọi giai đoạn của quy trình sản xuất để cấu hình đúng chất bán dẫn.

Công ty TNHH Favigas cung cấp sản phẩm khí siêu tinh khiết 99.999% - 99.99998%, và khí hỗn hợp với độ phức tạp cao, chứa hơn 30 thành phần và nồng độ ở mức ppm. Sản phẩm khí đặc biệt có thời hạn sử dụng dài, ổn định và liên kết chuẩn đáp ứng các yêu cầu khắt khe nhất trên thị trường, đặc biệt trong lĩnh vực bán dẫn, phân tích thí nghiệm, hiệu chuẩn.

Quý Khách hàng có nhu cầu vui lòng liên hệ:

CÔNG TY TNHH FAVIGAS

Hotline: 0961 061 680

Email: [email protected]

Website: https://favigas.com.vn